File: /home/microfabengineer/public_html/wp-content/uploads/2020/11/time-line-microfab-669x272.png
�PNG
IHDR � �ϥ � IDATx��w�eYY�Yk�t�Mu+��M�4IB�`B,D�1�y�� �4�SQ��0�cgsDZ��$H�����u+�O�a��kWuM�
���������s�箳������{Í�^\zη?<wi���wi��� W �����? ���}��3����g+�? u�� P�.{���~
��s/?{�����>p/��~�@r�M����}+���ov���|�N`�9��~`��}K��}:�`�9�Y~x����fϟ��/�|�7�K��z����+�-��X2���#=�>�ai��?����?���7�|�{Í�����
����W�������ɫ��s��۟�t�W�=����8 �Qʡ�G�@a��Y�s�N��I���y�֚��h�����*�� �VL�c�m x��DiM@�����xL�Akh���Y���`��袵����ǹ��.�M�V
�X������Ei
�6kkk��,�ij�7�(�)�YTS����Ev��4�*6q��A��뮻��(�L��?Hc-iޡן��AkB��Y�P(��Z�(���1�N�$IIӌ����!'�NJM��q��am�4�>s��'�<�I�sۭ7Q�뮻���e��3�g���2�Vl�o������;�'?�?�^��������k�I`����q\C���������Ʋ��$�%8+����9��������n|m��~x<� (���8| �}������1}6�Y��
�*�
|�!ܓww����Ol����z�|�<
x_����]ð��o^|`�hh�{�w�]@��*:��<��},��=��~U�w���}<��n ���^ϧ���N���_>|p0Ӟ/�]o����7"�N���a�jTpuA)LJ��f�w���ڠB@O��(<x���,��,'�
��Q7clS�$����ˊr:��s���PJ�n�O=2�b���=�I������QWJk�<� �T xG������g�6
���Y��0���0����L�L1&P�lU��)u5��0���I҄�Y��{���� L
*!�RҬ ���a(�| JiP� � 8�2�}�W�i��ߔԣU��Ƙ�w��m�3--��~m>���-L�4��dL��lZ�����davv���g�!�^y���%x�8Og���q�ݛAD�}pxQ��9�J+0K��ٽ7�f�m����Dž���|��.���C�n��\�V��-�=m4������m����m��m�|�>t/"�\6�_���fy�b�����{<�1�b��{
Є�x3p�Qz�p��|��4v��8�
��{�/ﻏ߽����&��|Zڿo���_����\�F�gZ��Ҟ/� �q����ۏ���Sk�Y��h��L��7K@��5����*�,'W�@@+M�� >x|� �B��� �i����6��d44x�Px�<��tH���n��*FZmC93I�aϞ=�9O��6c��ACjVY���N'$�����u�u���0:A�
����d����,�<��\�<�N�(�tJg0K�'�Ҹ@�%(�ش� gk&� M�R(��B��t�A��*�.��R�@b��4�iI�L�>Ρ[o�O~�j2ayuKd���Rd���uհi�&��!�/�α��J��X:r��Ο]L����>z_���qb�� �~���(F��p��r��4J�U;�
���N*���O���^����(0I|P�%������km|�5U]��4I���Ph�A�4
s3�rB9�0���IE��0YW[��ul]S��v㕓�UE�>�d�����'Og�wg�T,�:�QTՔ�*!(��X�0�0��a:��cye��*����r��1�-����{�`�<�i���0�Q�e,9P��uX9��d���ף��PY���@��k�"x�V�<g�:&��</H�������V��Z!ɻ�+L�%7�][�P��[h�$`�f�-�eI5Zc��ҝݴq��Ưw;���L/�s�hXzq���3��π����~�{o��y�O�����^*�� �NA.^�y�1�R�
&\�b7�Ϭ<~{�&���M�<�)�>�ש��
Z�ὧi��m�a8�Q��>#@�,�{�t2�(
���+�������ih��9�dZ�ea��hc�4����6>x�'�2�ٱ�rj�-����HbJA9�����ਜ਼�4M���2UUb�&�
�Dc]M ��UU�m�mj*�ٺ}3��X�0����h�4�`�b���s�Dk�,�;��T�h��uC�Ĉk[���QXj*���6�N�Z�`�UAhjT=e|�(�+9v� z�;X][��K�p��
���t�`���0Z�0�P�3�i�d��t;�b�l�z����]�.���ҋ{
x,�o��S�&b��#-8wG:=�O�U�)���r��C�D%>SW�"�v4_a[�R|�Ĭk�v���C��� ��e���5�@�&(�6(�Ȳ�b��i��(�]�y@XW�@a���55(:�,#��kL�
�����݂��_X9q���73���K�|A%�9h����)�t�o*lh�Q�S��J���R�<ϙN�TՔ�4��I;}�n�E��a:�2��iC]ոi�E�tJ��
�7����^��m*VW���)�N��ۥn,�5�4��w5MS�8���B�ʩ��γ8ק^?͉��q�=ɤd����2��u
�ff����qtp�m�V֘Nk��2M6SO}��M9}��K�>��/�����O� ���u�}�^8>�gE,�J���dWDt
�p�q�SK*���r��. ?�s��"p�Y4�y�S!xk�w�ݑ���w�^�٨f�&��q��ZK]W�����k:���,ISB8W����@�4,��C��#�;Z�� 'N� �<�+��o��w���%-z�6mgq�.�
��1մ�.'��d}cʠ?�
�j:%I&18��#M3�I�<�A�"�QYG��%�2&�1��
A:+�*H��r�g �Qx<MSS]����]��6u{�<����{�pu���z�S
���9}�yh�2W`O�p��!n���('SҴǶ��Ӓ��+rF�!�N�#��uk�ŹE�m8~���~f|Y���ˌ��y
N�K�'��mG���/4��Tk��Q�)�ŇJ���R2�b���6��3���m����uO�<�y��
A�R��T�֚�$����0�<�i��
�
Fi�,g2����;� ^ņ�P�4����3-+��@yKS��J(Iغc�_=oy�L�8��~�wp��3�X���y��,q����ԕGS���Ʀ�$�~Ri:�(��F��YY�y�V�"e:���)I���ZK��Nj��N�uM�4d�
�uMU�T�4Q$�0���*�NR�l��t2a:܈�P:�kCƎ6�TR[19q�[n��O�|+�iŖm;)���bT �3�&K4ǎa��]ts�hc��h���;v�fמ���Au{yb��azˏ��
��L�{��Z1wo��s6�B�s�=�y��� �wS$a�����<>T�>���}"��yKb��A����.F1}�~��{�$A)E�$�#;x:���L��V�z�W$*!5 Y�����5�(
�4�G8�IҌ�ӣ����#�����a4�J�e_�l�����_�M\v��l����o��k���/F+�������ll�љ[��dZ3X__enn���>\cm}�,K��S�,'ͳ�������0�ffQ�`�)�ሦ�0YF9)ɳ~l�❡�)X_]����;P:���4M��)a2��^'��-���gn���qde|������MI/7�F�|z�������k���RVO��,G,�ϱy�"(>���8}j��{v���5�}��=<�{���-֪���Ĩ,D�P���NA.֖V�N�v�ΨD���2��V*tC�c�2M�1z���v�B�hXnmM Dq4�Y�$K����{�%���~w@j2ʲD+Mf03�|��4]t{�UU�M3T�j�FC�d�`+�d�����~�NF�+|�o��7��>�y�{pMI3��g<��l����ĩc,F)\ k=��ҡ҆���' ���<��'S���
�udy�1��nbj>x�
t�}�ס�tz=���b���|���c#�4���/����W M��9}�Y�-/��$8zY.p�q�I1&�;�T�������������
���pj�yZ�I�g��ML=a���O<�k�N_<��~�On�X�ö�s��;ΓzN�.w�8�}[� ��NA.V��$a^����,�q[]m ޣSG��,^����Z|p�I��M{{������
e����J�V
ۦ��Đe��<����H��<� j�bG�6�ٶ!�0��44�Ck��*uY�'>�CK8y�+'�r�M7qh� ����eym�g~ųٺessrc��ӟdמ=$iN��Ȋ.[�mgmm�,M�x�m�Xܲ
�UU�Ǥ)&IO�4u�����R�z,,lca�N��8�N�<��͛��S6%M����h�%k��3<}��w���>�KS�����&/R�yJ^tX��y���5�a~~��E�W�O3����ش�K���.~Ygo\�4[��]��SG��k�'��]�$��/l"v�C�Mސ�J�)���G��$�T���:��/�]8�e9Ep�
��z2��h����7�j����G2�Q��&�I���Z���G��s8�ںPh�欍�sѹ�k��9Q���J���SB�:R�m�-Ox��qֱu�6NY�~����
��� �8�ַ�g����j��
�����QO�Y�V�{�U�U��#�H���2ݢC�$�뾪h��"KS�U����6�M�t2��'8g�.�ʳ4�,P����p�� :��`kR
w~�=r�Çq��1z�B�
�uqֳ:\g��an0��z���5�锪*Iא� �<���`�G,�����uS4�ʩ�rb�]���w����P]��_�ibj}p/7;�癰;3q����(":A��8}����Ꙥ��t������3��8"����$1ԕCb
g�F�g�B]�y��5��t�`� h�,G��8jW�&��l�g�S��ϣ���cZ���h��6�N���<I�C��F㜣�P�5Ϟˮ`۶�\}�y���n�\C����_��PW���ee�8;6ϱ���W?����eum���*y��� ������6�^��4I�L��M]SM&�[9}�G���R������Y�j���e��bcu�-�s$
&�
&�
ʪ&I3p���$�YJH<i��7
��y-�b#��� �2�w�v������s��ȋ�n7gZ�رk�=yb����E��w���W���|9�n����|v�G�V�)���4AD� $Ã�t����%h�4H��1u�4xoQ!v>�Ƣt��q�SW��"�2�����@���)(M �ͫ���N��,vn���Y��3Tk'UU[���iF��L�)Fg�6�j�b2�H�h3���L�%�Ʉ~�����^���B�>s˧��S�+I1|��B')�t{t��K��5��N/��V�η���Ƒwz�'%F)N=��Ç���g��LVV8d+666
���2>s��|�S7q�1��&�y�f>�����$�!�:ꪤ�K0 I�0I�n�`�MU���̴tغf��&2�PUq�}�����#���2��e�+��Q�N��6�����l�>����E��l��7��7/z�y�%=M�����G��G��pY�%��q�� �S��ɡe2��1�'�N�J D�#�Gk�kb��'�x��j7���D?��"�A��hLk3S�hP���k�`ɲX_����;�\�N��:���&
��dL�OS[�1y�V�4����)E֑g)y:��%����6o�;��{y�k_�G�R�Y��P75�
d^�<��^@�?ˉ�u�s&�η�ߖ4ӊ��5��8�y�+_EAs�^�R���E����9z� 7��u�8v��۶�FC�V�Y?q��x��Y�X�9���۲*���>GSN8x���$iB��ac<%S��z1��鰸ie9!8�2)��l�_`mc�����ԁ�������'���?JN��f`�^ns���D�]�
����K�)�y��ێ(G**�I�U���I~���M��1Ҩb�Pi�JS�貉1���4C՞i9¤��K2�#I3�4����7�?�¹�8�N�Ĺ��:�;��i�|vm��'y��P�@��ӵ��g&I��)M�P��N���X'Z75A�
�ݗ^��nex�$�t�L7'tR��%�{�S�s�?q���GL�W9p��\��'p��Q>�[���]���o�[?��e��'�s��Z[���UVV���Pd)G���vɓ�A�@ /2�Ԑ�m�t�ơ�6Nc�<&I�Γ�9��Y2���C��C��t8�|���DC�|��h�Jr��<Y�{\Y����_�6m���"8����]�_�}w����f�<��� b/���|���w��+��z�S��mJ�u�z�'|U�Y���Q�F>�sB�4wΡ�Ag��!�,�w7���hŠ���#b�\%(��>����t�c*��l8�lh���9�>��.u��(c��c�N�F���&6iE]הe�IT�r��q�Da�#��S)Afzr��u�3s��A���o���>}�j:a�eW�EOzo���c��x�3��7��w���)��݂\�8B���f�e�0e�y���A9��;�L��c���h2pY�d4����T����{O�[����e2c�E��f�[�oc\N�t�(��g�Mӄ�]��;Sd�ܳg����MM) �\�6Z�'��8�R� �����AF`
":A8_Y?p\�L]U)�������i'OJ)�TBB;�ܵ��<�5��B�i�x�P��x@���B
�,p�p��Gk�VI�nך$M�ʆ��
�(N��4�;P�`}
Σ�"xG��'-2�2t{}�R4�Q�c��h�A�0iS�J�X��͋,��<z�յ5�x��7��k��]h�Ƈ�G>�/,o�H<���<̚�~�+X[[�Ox�#���l�����{]��X�%Eg�Н�^��֊�4e]C��=˲�k�t{=&uE�g�i�Ӗ��k�4��5�:�k�ur��0
�g��f4�����h4�?;Ǥ��߲͗ft`�7x�o�3��[��i�/�M��S�^�灹�8#~
��cX/��A8Gp�uB�T�u�<�H�3M��][��9Tk=��65 Z���83�%�
q�N�� �C���@������F�jH�(�1t��8��@@Q�
`q2�EA�g�!��+�锬��NT�������ZG���Y�t2��¤ �����]�����<,l���������8u�.f:)�`�r�L+l]Qn(�l������ޖ�-�8��|�%,/������
�yJhJ�T�t�N�(���*��lݱ�յ5�zJモ(r��dF�1���˴��y�33��x������[cD:8��.M5!K��i���Yo5�)������Eo�������6=��S����]/�7�߽7�hZ��i��s]�)�y�ꁓ�T���sko���ֽ3QKkm�,:��
���s�ڹ��?��cG�B�x��6 �^M�ܹ�!8Lb�F�
�}������ۧ,����
MS�"�
�d@�����
m�A��FS�5�@a�C% ����cu��9O]�l��q���N��{��۸��k�/n�i��k��O|�� ݹ��p
�++�Σ���(2àӡ�ɰ�a:-9}� ��ZY��g�P��7֙��cu<�ӌVj6�%�c��dLЁn��W���џ�c�&��\�sݫ���NIҌ�x�1ʘح��`��xo�v��4G�£�����;I�څ�M//�N>�;��?�_}��r�
D�{�y���D{
����&���`��Je*�Y2�����5�6!�Z{�ܙ�Jř�CP�pvf�w���H�$6�(���BC)�I�����]�|�]����H�9����LJ@�;��M|��]Զ�,�L�C��n���I(+6�=�^��m��wLGC:YJ�)��r�c�aqq+����f����j�Oofaץ\r�c9t`�#G��\�m�|�q0�`�XQL,�5t�P�t�)�Vdi�����z��n���tĦ��Y_2�&�HR��P� uS���#G��}�VFC*ktr�ᐝ;�R��s8v��d�s�</ȋ.x���k��+Z���ھ��z֗�����9�<�;��Q!k������n �G`r�=�9�)�燐NA�#��#��!���z�2z�V�|�M��4%���1���N�BE8+L��;j?�����q�6 �+��#)��?I��8kI۴�6�h����r��l�6 y�o0Zc����L&����k�r�r��0�X���,'�@bRT�nj�!1�$Ѭ��27�&)��پ������'(���r퓞B91
Q� _�5O��k���)yŧHBM��17��j�.�?x��II'%k�ٴ0�;H�'N1�I�8k>q������������(p!�s�n�7�L��t:E�c�&I3�m����y�S7i�7��!����Iӷl^\|疹���'��e�ݒ����Clʹ7� �t^5Ų�+���w Cy*�� <�D%*O�9�~-�.��kb�йkL���9�0��4�@�4�̕�T@'Il
9y֣�J�J������J�
������u
ͤdu��@Z̠u�J����:O�(�ʚ���A��XϤ��3\P�� ��T�)��1�Vy�I0!�c��B�Ji6m���pĝw����qF�
v��M�d7��M�d<���;v`:3�M\��'R�9}�4'WVٺ����ǎ������a0?��,�V�7X[�`�^�����Ƈ���t�]�R����Q��y<1�;;7O��Y���UQ�
y� �� ��u��:���n۶��m�v�兿��im��x>�>��4�W�[q��ߠ��b�'�NAiVn=��f�"|���r��"=,���4M1ZS�uL�Mm�f�{|k�����Zj��F��ԴQ���>�!F4��ֽk#��o8ۀxנp���j�ហu�w
�E�jGn6M#�ZS�%��lM�v��]�70�PIB���g�F(�w
Fi�w�Z^��M\z�6��:c8Zcc}�cǎ������;��h�k�},3ssll��'>�ř.�~�H����5��UG��:u�ԺɊb�Sw���<�R�U��"�bPiU
V�I��uh�0F�IQ&e0�a<LBZt(ˊ���<��k��F�gw�$�k2�nNM���\�����Y7yn����D5�5}�;�m�q�;���O
D-��C���~i"Dt
��r��cJ� ���/�Z)�u�9S�>���q�J�:N�N���c��S�M���^��kk|��=uSş��@� h�����D��$m�>͒hv�,J��s)�n����4$i�1�i5!�и
�jt=%MRt��in�,�`��j�]\@�u5���t��`@>-Y�P����F��</��[@)�Ҋ�_=+���/.�������gRV�d%s�굓�_y���?�����W��_v��ɯٺy~n~��7�䖻nC��əN+l�,#ϳ��k�B���U7>T���3��L��w�:�+m�}��Su{�;m�o� �3�O��ͷ�����(�W���.��+������W��%zt
��NA��rP�ݤ�r���#�0Q�gL�c��yF@Ɖ>M����"��K�Z�1��V|��Q��qy�oqx�NPJ.��t����=�>ZY��Ue����0?O��4���+��dL��%���?�J�(�<CgUU�=�H����iH�����z�7�:�П�e2-A)�$aa~���5l�:r��6-�s�.F� ���b���%�_I�[��|-em���w�^|���<�ڷ�u^W�[��Кb�z�0�9ʪAe��ǥWcj��p�k[Kr�\����F5.k�B�|�fm����t���$��rv��~��\D��3��qߵ���i���W9Bl����&�w��
":AxD8��*$�5�}����]B
�M�[�ڙ�1���{�jE�H�{�3c0C��!�,��q��ΣB�O�>�S�i��wL�C"��/�t"g�*Ju���c}�AY)fg��s�y�
-�
�eh�_QgK�an�����$d�J{��Ӹ�,/P>�g:�B�ԵŇ)��lb�c�}ɥ@l�Bfg
��Wɲ�by���>hC����f���hZ2����$�g;�w�U��
���Ч��|�����$�3��;�zW\y���M7�ׇ�ϓ�희8��N'�u�)L�
NyB����m���.03�����"48
x��7癟W�7*���
�P�S*���Oަ�B�$5!h���"�!�Ïyk7g�o�(��$&�in��ơ3ӂ��g#�g:ԭ�jb�]��@?7���(˒N'�V��Q�Pd]�oEh3E ��k|HhjM�X�6oމ"�u����יNK�4%I�XO�¹@����s��q)��x�Q�@���{�0IF�t���D�瘤`6+��2�L ޑ&�noe�~����OP�5s(cȲ�4�y��ݻY[]#+
��Y������c�؟�Uu��?�}���?��/�{S�᯼~�i﮿>v��U��c�^���9v��;UЫ�Y�$����oED~i��;�������ѣ�|##·�'�wJ=� �S�/(A�]*���L�4�j��[�E+M� ��B�����bT�4C���� D@�s��Gi�Q���B!���#I��HhL�;�N�$�)�kWc��ZK��4C�4�`�����t�ź1�jHU5t����Ô�.��j�d<a~n���:ώݻcsSp�y�t<�5�-[��swt��K]W�� �Y�<e��i�
h�(˚���9ǵ�},'N�`mu���M4uuV�������cf��$�*ǣK�"��]�_����������{��/��o���E���0)�M���+�p?�{ ��G��q�
���y6g�s��I
8���":A�B�Cp�sO�}F�$�غBP&vz[�v��f*C錀F�1/o��āJ�&�m�~��g�m��~)4$�A�(R��l +p
��𮤱5A'x���]z�K�65ڀ �� t�y�b�)��p�A+���e�w�/��� �pc��� �2�BQ�
�e�ڱ�
��Ɍf���t�A�5��8f����M]�-:�LJN�8EUO�fڙ�q\g�4�.[�����#*�q���?�������k�����q���#F�|"q�P~/wq��o�?k�X_}w�s�N�F$":A�°���hYO~GU��l���$^5GXkI��4II�����%�� �֎,Q� ������qM�ց,K>��a�������ݎ�T�|4��A%TuM^ӥ�(��B�55U=a<�`�?�罧�kt��fi�C��,1h����D�ߧi,�����$ Mӳ�Y�QUY�� k�?i��A�$���3�X4�5��e��ݻ F����{���y�pcĉ�'�t:�>}�r2�
RZ�`�?��uo��&����Ȳ�Q`�}ܾ�1�y�=��/��
X NHz��SDt
���'=6��ON���&�>���~��)�k��*��"���i[���Y\�U`8�@kp!%���`����[��Vt&�5f�<D��J�Ph<�BP���wXX�B�8�&�#���;K=�P�cN�s�l��3?��B���J^tH��M�(:3���!�5i���g:��rG��8똌�c��ά�6
3s�y��7�Z�����VWV�
�l߱
m!@���#V���t:�iJUNYY>M��A���d�8t���h���|d9��^|#�p�~�\��7��iu�ӓ�F��<�]�9���%������3�J���M�S�&1�~@���u�u���C@k�֊��puMp�\�U�m����+?�<c�t��Y�v���?JG��l��
h�"��iF��Ҧ�8�c='����,˰M��������'��7�"����!ISL�2��c0��ZK�4�u4��N��Y�>&O]M��S\]���u�s���v(�}���n++kt:]����Fk7屶!�@U�g�� �<ca~�`c8ă�s��=� O�}�K~M��� N<�qbνq��@}^��5����9��
OA��H�S��c0u]�M�R���1U���@�$��q�U���9��Ơ��DZ��#Y�^���tx��g�'���4�������S�nFc]�dE���SVVV�{x�IMJ=�x�dt���ǎҔS������*
�B�ljM�f�Ά�L&gg�cPF�Q]��g-F�k*��E'����<s��\���8u�8J)f�f�M�d2fcc�$ɰ������t
�]T��l�o�4
ku��y�5�����N-�c������-�O�!�5�e���5ʹ�oR��[��8-I��� <r�ݬ���.OC'��� �ɰ
��ъi�ᝧ����a<)�RZcTJ�7CSW4�&K3h�V&I���Z�L=�1��]�dyz6�g���MC�g�fx�+d�Fiߦ�C;"3������h�� �kkh�I�@�u5M�D�!��Ħ&`uu�^�O�ף�k���x�t2f<�`c}��jx��D@ApyE`��l���'����)2N�<���i����
�6-R�5s��=v�j4b2��Ji�����d��]}�c�{�k�,-
��GZR�_ ��W ?|��]l�� o�_><��b? |li�>��.�����(��j�����J=���� �,g~f�<�
gK�rLYMhl���ڤ(���0�B9ŤI�F�� �q�q�'I4J��I�V�T%���)>L���Hu�k�l��ۚ�<@{L�1d��,Š���#7%I5�%4�����̱}��hm�:ŅV�z�t:����C��J�鈦��MC�&�uCof���u]�]���f8Y��}�.ʲ���cL�1�MA��<e����l��s��1:Y�p2AkC^ty�S�
ƨ�͋��N�G�9�o����8���&�p~/q����7���S\\�~�~�<Â�NAQљ��BȒM�{�NM��#��mb�XU6�Ʋ��N�e��)y^0;7���xk4[�M]�،��;Ӊ�@���Pg��yV�Ѹ�bm4���0-�;�,%I3:�nLY;O�M+h�u�C�5����f�q���kTy�j�±yq����x�d2&K3lc��ؼ����-4MM��h�����%����*���^�A�,K�α�#�uݰuKt�):'N�R��m,E�ˎ�����r��2�:���?�e�ȱ+w�ο��ю�����N�1`�}��4���q�{ox��,��oCF_
":Ax�Zk�Q�<�!lZ���X__4M�t2�[G�?C��hmH�c2�eE��t[�:�N�ZGC��!I�h �!xP
��<�x]��.�$E�0:�Y��g+|��������Ɋ�~���r��Q���QIδ�2?��������&&ʹ�0�6�f���h�k딍%h�m�P(T0�� 8�u�GCJ�f�, �s�ڲ�{���:�n�m[��|���
3��A��e��>Y�SU
ucٵ��4����'��]ؼ��2��ukg��«�N~�O��D;?_���a����{�zM4��y7_�_3C��L�S����k�Dt
��H��=c��)FG��,KH3�d2d<1ӟ�??�sصF)E��*x�,��d2�[�Қn��ъ��[�����Y��b���LP:y�\4�ǁ�$FG�g2L�FsyO��U�t�F]W,l�Ħ��G����l�v��h�w�Ԥt
��
��:��k+�8۰e���T��5���OF��T������*v�w�lS���L�7C�D+ę�,[6o�1W?��d���<i��ԧ]ϩ�e����st:F�!�s3�رkO>7�c��;��~��W�������^қ~x�}\g�.��z�xt~+h�8�u�wȳ,���|��T�^)�$���#)A��b�u��$YA�5g�LB9��4��4�QWMӠ�k����t�'�ŭV,����q����4%u]2-�t��$�f�++�7��ܽ�4˰���ϐd �Z'�2Ɠ���,�1�шaV൦*+��7����h2�.+�:L�u�M�N2��
�Nɒ�'�e2]EkO�;tB`<�LB�L�R�ǔ�,�0F3���Ng����lQ
�[fزy+��n��+�?�A�g�$iF�ft�bs��Oe����-���/���3��Ex>��~��I4���:���:�;����Z�bb�^��3-<ħS����Oަj�;�QʡU�����,Eރ�/�II��ӊ���K�1B�
����D�ر�NA��4eMӎ�����1�R�c��1B�4�&� U5���hHS�x2D'��`@�룳����sh��P�[BS���u�h8�*+f���-0���j�FS�S��u��jg�7L&k�f��L&c��g}L�<g0�$���Ĥ���^Ycu}�h��$iʤ�)�$/Xܼ��`@�ߣ��0?�@�颓��6?<���l�'xxx�����"8��_�y>�q��&��� �i�K��Yy��� <�(Bp׆�g��m:���jm��A�0(����c�o�egk���d��
�{\c�˒�dDUM��
e4I�����<4��ú�-�[��"�@YU�v��V�N�KQt8u���$6>Y�1 ��~�G^lݶ�ˮ���E�s(��� �SU5eY�bff��$YN�<Jff�P���`]��Y�akGc66���R�\5%�Q�����XKm��ΰ�e;v�Ӊ�;;�I���sؽwdE��<��uM]�����S'O�������~���7��
b��N
<�e��۔X���^8>�=Sc��Įu�ޜ��g[�)�#N�'��4�]F�f�;�X@���|���`���6M=��&8�`$F��vP(c @5�Ɣ�ָ�Q:6.eY���,�Y&�e9�[G]9�N�n���)z�s��z��2t�3�Y��d�kyA�V�,l�C0:����1O��2�N\
J1�k�M���RN+���e]���wgȒ&M@�Ļ���*'�fcc����`]��Pt�x �t):]����MY}>}�1:�LJћ��i�� F)�����Jҙ�}Ζ�;�v�%�;r�>d�i�5�/����Y��8��8[���S�y���+ۏ����� <\��̡՞ �yv�x�$ԍ%�p�a�Q<��nh�j:��J�wB�ў ���c4T)�àߧjb:����\����9�wI�17�����K����M�m:=C�w�cTB�uc�'�e���;�RY��� ��������:�i��Q��;�����P7ʪ�[��o��h�2��f�`2��ʚ6lPtf(:=�GbR�6E\c�u{x��<�f�im���������(H����s �;�4y�������O~��v>8�������>��$�\�8vA�nT�bj]����m ":AxdQJB�*W
666H��,�p�Lj��L�,k�g�O�S�j�����9�w�� UU��&MR���EN���y�њ4�m��q�8��:��q��2L�c��شy+���m�u;$i��emQ�3�Vh��f9��4��̰mǮ�B5I��K�X��;�Q`�E�h4d2S7�<�*4��`<�d9&IJ�L�W����]���q.��14u�p8���Q�Y��)�hmh\CP�"Ϣgi�di�x4��� t�]�6$iJ��8u�k��l۶�n��͊N�X�<4�y�[ܷ5�-D���_ u�g���x;�.IDt
���B���
��S��,_Y^�i6������{;�m���\4t'k�I��b�|tM^�,�>�ל:y�f��w
��p�cضc����y��mS�M5��2�vs�lm��M����맳8���9|c�����412k+�� i�0�6�����i9E����!ͣ =q�4�{��@% �W\y�������5�s�X^^f�]�Ϻ��ޓd�Z���ZAY���"�s�ɘ4/p�� m.xW7�鲪�f2�y�V�?�!,m�(��x�kDKsw=�,��]/_c#�(��m@X"���KAD� �څcʇ�����tf�1hk8�H(!D}�4
�t���m�hV� ��Qx�T�Q��4U]��"M���l�������n*��.y�E��={��۩�ˮ�����p����ff~�</Hӊ�d�k,�tB����R
���r���|�Bd���N�<F���f}c✢h�>3G��m
�Ä@��ln퍒�`���\r镀�i,�oKf�G���t:8�Ɋ�3����# �$�0ZSNǤy��IPFa�'KӰ}�ON�6^����6h�{<IӓU˙��� =�M�p�W�
�K���^8����U+��~�n��K��ɛAD� ����N��S���St�'˲�єUU�4
��L�S��1��X���b�g��{�e8g��<!��d:��$��:OSV�Ք����S�(��M�Is��9���?��T�ij�w(
�Yʲe9E)EU�L'T�R�%���ml�
����뱶��1 ��~;��@z�>[�o�(r���˫���s�xeY�ӂno���*y�eێ�i�cP��.Q�r���������v�4�3�NIM�5֑%�5�;����gH�.Ԕu��ܴ�ɫ��k��v�T\���x�SO%F8陼`�O��Ӈ.$��~` ���;�AD� �;M8�ћe���Y�/��o�ޥ�6�#�rJ�ף��8&r<�D�Mb$t2)I���86�t:]�4g�1���3;;Ǩ��vr�
L�ئ"K��z�>��GO�}g�s����,,n4�6غ!xM�u��:Fc]�irM��+��Xcp�hc�ΣYJwn�rRrݓ�gf������1�J��/.2�x)��M��q>DC|�r�eWS�
u5���hmήCU�t�::ݜr2a<\�ן�9�
��`���
�N��,I�3�0X�I��=�^�i~S5*_����ʯ�r�^pf�W �
x�g�+�� �/�:�3��+�g��J���� �?\�Dž�7�u4����/m�}��6�{�=��ac���1�N�C���u3���PV5p���u��
�-!�h�IҔ�*�������cff�س�R�sL&Sf��PJ�4o-Uk>�,����h�x<"K4�ȫ37?kD]��l��(:8�ଥ��&}VVN�����+\�p
��oBàߥ�+�,#/
q����;ߨ�h4$x�6�̠�*�4gfv�N�KY����S�U]a�bj-J��P^3;7`f�CUW��#�,'[�l]�u{����7�۪R2�Ap��o!��/�,�sxY+:���l��s�'[ڿONAD� �;{�?y����F�lUW�E�'�-�_6-�ݺ�T���L��Pի�j2,�jSe��N�rK�)T�e�D��0̐$ �锪�ȴ"Kꪤ�*�1���q�m�R�)Ƥ���37��M��(�Զ��*��x�|�,�QNc���,+�n�F�
'OWq�����A3������hjG�US�TSF�Jᴡ�c� US�e�f��s��M4n�
l���"�� B@CS7��*l�Pt��5u�0O��4c4�V��E�uM]�'�|c?8�鿯��ݰ<�e��x��$w[�|�D9�����
�͟�#bt�w/D��F9wgƧ�ͭ�(� �S��z:�h����ey6O�lv��ЍS�����0�'a�4���e�/5y�ӽ^��ssJ='�6x�H�Ϧi�6�0:6ެO�$Y��4I�Q}�6�UM�\�1��9GSU��6�j���DK�4�(
����ѣw���p�^o�x��t2%K�[�$GǑÇ�L6���i-�y�e0�g}c���:�w���qg�d���{�O��YK�g�M���*�{�n߉� ���-e�\���4���~�7Tp�d}tc5-o4A��3Ű[dV7���0�kEl>8���]�?@ y_��~]��3��k�K�u�� n�"AD� �5�m1�?#��}��oy��Y����OY�B}��v�b��FC|�m�x¦��Ip.�c�n�- �$'Is�
��h��kjlS3���ԞXXX�$ц�l,I�����������p}
x�Y�Y�ӄ��'9t�.�zJ��콜$�Y\�FoЧ�I����ʉ��ؼyk4xw��(p�!�
F�5t��m�t������p�֭;��x:��v�_�'l�Xo�f�l�/u���d��5����T��#8
�E����H��r���n �/D��F9� Ft;������� ��u�yV ��>y���SUU=�����V;�"�O�d��α> �'I�q�Q7
�����vSWӲ$�s�Nm4(��g��XGi��s��[[7e��>�!�Iӂ��di�t<b���d�J�]�N�˚����i�e�νx4e�V5M�i�F+h�qݐ��~��0�_�S��}f��Y:�&M�~�����/�ar SYC��&) j�7��~�3El>|��K�k�i�m��,w�x!�Z��@#����7 �'�r��S����NA.J�_wU�~ǻ>rgp��� �lQZoS��0鎢��
a'Jo�cvff���Z�$Cu�6�ƢU�1����UUA8ېf�n��xL��(Љ��5�{RP�a���$(eܴ��,�k��t���m;L^t('�� Ӫ�jj���J�k+8���4m��c����i9A�8R�(��g��@� U]�$�C��P�u&{��F��Wlj`'���S�'����V����l��;���8�
��Dt
�pQsų��>�C�҇>�\�Tbr�x�*B��e����~�I�'*�6c���A+��֖��e�$��Lp6O�V �6l����9��z�,� ��!+��4uլ�����X_ʒ�p��Y�d����3��x��ܦ�-[wk-u3���U^�S�R,,,4�����(&E��i��N��A��j��J)�����~V)5K�t>��L%פY��;>�qwœ� ���#8�
�� ��]�EC4L��ʤ�ς��XN�Ӈn�(� �S�G{�� bt�&�>�ɕ�i]���6�M�^�d饶.SU7S��I�՚�t7�{�<A�d{A'JO���6vS����4���kP�n�K���&��R����ƭm��T��}7��^w�;��/W��?���n���x�P(f��p�Mq�S��m}��ɏ��:W����hMnt��jc�Ra���6�/v�>��t�P\�(�#ʹ�
��rF<�b��|��(��1�x1p��N�����|+���L��Dt
� ��t�!��r��C��BS���U�:�6�`�Yxmj�ra�sN�
��3!�ϛ�'�-:�+�1�Y��i�A�scR����Υ=��<���Cj��c蚯����H���d�;w�M�wi�vl��nR���C��5_��D��T�$�I�۔�Wk���M���v�y�`�N�'��Ħ"F3� �<���?v
�_��N_肳�L����(盁�$�)|>P�� <j�LJ>�0��7�dת4��y��.�#���zcí�W]�9#��>xs�t�mY/�F%f[�N�9���3ʇU�\�x��"~ۿ|D;M^�f&��^�hk��t������"��4�����g7{�a�4��w�p|QD�(�e�_Gz�֮����oNAD� �烣���$(���T�� �oy� N
l%�ҿx
�q�1n�;�~�\��~��Ĉ�K��.��'6I��NAAx�bs�� �o�)���@�C�_��G/�t����%� v������>%g��Bj:A��Yl��]��j`�~�h
|��,�]/_��Ab�wg����U�AD� � �?�����9�I�����6<�{�/��/�t���p�&�p~+1��UK���3� �SA��L��ı��ۊ΅�!6!z¾x1�Y^L��s�v ��]�1�'�g�,Dt
� �g�9p5�|�� �!�lޟ�|���Q�+�^8��;�
1������?�[ڿ�ə$��A�-4
1b�ી� W��' �K ��#,��X�h/���Y��8K�[�.p�]जQ��NAA�[h&Dˣ��"�ѯ#6���o�x?P]�b�e��G�)5q������� �SAx��LE���i��Ӂ��f�Є�$t#������ 6�l���'־~��V|
��NA�Q'2g�6>{[q�����8��
M�I�l�x0y��M ��
�1R|�8��3�Dt
� ����Y�]�����n���w����g,1��Zbd�@���-{_�.���<���2�R�)� \h�L��n� 1��Mڷ#n�#�[��m!�e����@�ň8]�o�ww �G��I����"Z$m��+�����⬉ћo Fu�'\�V`������!Z�ۣ8�a|��-��Z�y|�Ǎ<=\�1�>~�Y�ꂈNA�x�.'�q�bJQ���N��o$N�9��Q�{���{���-�����Y��":��~�}+��%���L N
:M��bT�`�"7t0�S_ |1�|q�粬� �S.nR�KEp
��c`���4�.�QbDS��NE���3��Vh�:�I�":����~x�� <^�Vd��3��^� �R�y��f��g
���,��'����NAxP��s����h#��ҵG�qb�.��&�3���d��V����I4�O��G]Ndi�Gid�/�_����^�ț>�"�M��jEθ�k�*1�y��?�~�41�)�!��q>�8K�Rb'����NAx� OC�t.��M��|��h�~F|��1�±�%��
N�
�?&6,��:��Xڿo*+$��A���ہ��~�/�_Xڿ︬�p�
� �pa8q�;�e;�;��TDt
� ��1��n��b�b�$��A�!�6]���^_~x�!@Dt
� ���ơ����K��(� �SA�����R�s��u��"8�� � <d��p�&ুo�n�� �Ep
":AAx8� �A������I���NAA���[��#Nuz)�.�
���A��_p&���6������L{.$�)� ��4��/�gٿ�����ƲB��NAA���W�\��? ~_�p�!�uAA8?g<��|P��!+$\hH�SA�?�i�g �<���?��!�BD�� �y'8�~xZ+8_ �,pD� �SA��*85�E��#��;��A�
���A�� �,�8˧x��S�p�#�D� ��ȊM��o ��U��K�p1 �NAAxdg
<����l��!6
ݹ����.��SA9��_�
�+�MC�g$�.��A�a�=�{�]黈���:pH� �SA��*8�~X ։��� ���Dt
� ��P�f�����Y�/%����)��A�NMg�s�7�������Dt
� ��Pg| �"�K��1�h�~=Ј�Dt
� ��P�h��Bీ� �W�_���s�J��NAA��T�� � wO��xp
":AAx���
b��7 b��k8���Dt
� ��PgNi�s��)�a�W��E:��� � <�y��??@4|w�?�7߹�_%+%��A�
N\��]D��!�K��MA�)� Al*`x�S�t�� ��=�%�.":A�
���ؙ���і%�n�7�t� ��A�� 6P ���d 6�?�;pX��� �SA�����`�Y�����Dp
��NAAx0b���?\O�BZn ~��L�� ��`�f
<�!�k[�i�������� �� ���BH ��k���&bSDt
� �gl���q���S�#�1�7"�MA�)� Rl���?�#� 9��?�
8.��� �SA��4����� X&�l�6�i��� ��A�*6�J���w�#znN�&��X�)":A၊M\���X *�c��=7���tA�)� Tl��5�s�o!�of@�D��[��$�)":A၈��
���h� 8�
�?n�)":A�M���o�݊�n+6/'zn�
�El
��NAA��bS���J��b�3%��o'�k������� �p�f֊�g�_,(�O M�F? �"6AD� � ��i��Я���Vlv� �����si��ZVNDt
� ����8�rqD��g��Q�8|x1�yZ��AD� � |.����x���Ơ��f� ��5�֊�[����AD�
,�4��q�ش��
���
��y��9%��|�[�+��@���N�^�3pbi�>++(":A.tt%�5���^b�W�8������#��b��Ӂ'W����:��Vl���$�.k-":A.A��A��SmL{sh}�ׇ�$�ti�>'�x�k���E�:b��SZ�yI+@!F4S��ي�O '�VSDt
� \,�H��藁}�X?�1bӊ6�!�V���c��hO�ޣ,aK�V�k4�!F�7�smj�b�=���O硋��� �P�
�m��}��g�щw.��W��K��-_�P+�bD�?�{�D��� 1Z� �J�3��vmvqw�9�p��5�w���,KDSDt
� \��i�
�[q�v������5���2���v>�F��G/���s�_�
�>��jK+֟<��
��.V�"�V�#�ͷ}5�#�J�� ��A�����b��5���\Q��g��
|7`�_^������i��GJ4^�3����������Q�B�K
,1��܊̏�3o&�([Dh
��G"K �p���
�1�y�I�.����p� �w��״��D��/��<��6��g��s>��Q��\+�7�v��u�����QNs�?m��Ĩ�m�H應MV'�q{/"SDt
� <���h����}����7S�W��횽7�x�Jd���rbjs��k����9�D0{�����:G�ޓ���������w�ǝ�Ȭ[���LA�)� hC+�vS�oj��b�۟W�7���H�!F<_O��B`��?�
��%������!Ѻ�1%~�=� �5��5� _�� �
�����\�?(��� ��s1u�����Ag��=E]+(kb�eu��<s�k�|<��g]{H
� ":A�섘~V�@,��jZQ1�k�\ڿ�����������s�h8�_��AD� ��<Ĉ�'�:.��F� ؙ���@_P����i(Ϫ �$Z�@�^�� |E�N>��\�hy���� £�t
�L~I�۪�LG�=-aT{�_&�&�7!�
�G��p�
7~��G�F��=on�I���:��]*p���L빇���N�Q.(;�f�1-9�����^�g�9:��%��1�.��K�Kld�����S�K���w=;��l�g_�~�m"r^T�|�s��ߞ#0'�n� wwޯ�����7�x�7����Z�/A�)\��2%ֺ�[��=v�/#����G0k��{kĸg�ęh�#��3":��ҷ=���7���W?�{Í����~����K{~~�a�$|�+Y
p����o�s�)�M{���G�>����Ɠ� �MԨ�O)bTDt
��o/;ۋ������E�����_;��6�0j#�s��s��s."���-�ׂp��)���
��h���e{o��/�CK��5�8�u{�}�/ W���oz ���|���?!F���m|��{ʙ,Hq��=�n��r�$�Y�X�g��̾�J��tp��n<�
ԕvO�D�
�}#�ׅϗ����xr{<�Xw�ko?#.Ϥ�ֈ�����R��n��8GP6��?� �A���'��"�yԭ}9�|u�ؼ�&bZ}О�C�x�Q��K�ր'�t�
�6`1���}c����wא���Zb�s�X��!��'�
h5b�/":���f~&��H�^>x<q��bz�LSϙ:�%b��]�&}F`��Ǻl��yt�� ��x{N�VXo�WO�E��}S���� ,ɹ|�<}�0O��li��K��2b4t���!F;��ڧ���oN���̘Dt
����^M��}1U~�9"�Ljj �������LjuRCو��πg �<�;Wt��M�*�vb������;�%F������v���=�.]kC��#��Z�)�c�5�'_\�n����3"��v���X�t1�9�4�p�:�y�Dbm�|+<7���3i�u�!��K,�x|{\y��Ĩ�-���K3NV�AD� ���|9�5�����#�ۋ�G�M;o��OAm�fފ��k{���eFgF��#��#F��lߴHT�)<�6MM��� |1�1�I�ڦ������ ��n�k�mR�$��q��%f��'�e<���/����k��k�'��
":��y�<c̾@L
����y+&OS��M�f��� ���_
w�⿈�b�('6� v�� ���s�_��Ŵ!bQ���\վ;7Ĕ�G�W�"=2%
$����&���"6a~31��X�9n�@���_%�'��.䍯K�8z6�|�:bʧ!����
xO��[�� ��/@g[�b
����!NFz}{|X�}X�)\H�ܙ
���A;�Q�S��ʷ7��e�� �foN���ڽ�z�=��w#�����Y�)���"1����N�Eb*� ����C��]�گ5qRғ���x�1i��ӯ��8�U����y#6g�uC?����>�o�W�4��H�ڿS���D�&Z/�D��� X��[�)<��U��wĩA[[�y;�
����٬A�� N��*�{�� r��'`�#�"�� �S�BnP]b-� _A��tD��?m�/-��W�j � \P�{ڊ�/�����O�?�L� '�S�)|�6��}����]�ۈ5�^N�~<��_-�%�pA��t�m�����)b�џ��">��ý�������k
X"�[��UĦ �E��'D��o#�}^M�?�
�W w.��ge���C�l0߾��s��%��>��]l�A.�k�!6���<�G����t�":����������矁�#ZjH7� £��p����ٯ��N�� ��iDt
`S��[b��ĺ͛����X!��h�Vt���?Ct/I���؟%�)��>�;ا�6��h|�+bW�-R�#� ��
M���|1HQ�B�z�Ɉ ":�{�ۉ~��\BL����J+ҡ(� �5$%�O��B������h*QOAD��M�v��`_�����GDl
� ������7m"� |?�E�-�~x#�Dt>��,�����)�^�׀^ڿ���A��� �~x�L��?����%�)��|�m
�?۾+���S!'dSA�5F��ǁ+�%[� ��1�J�S�yqo
� �~��� /�T�� �&�~��́ہ��EFi
":/�M`�X������? ���� ��p��-D_�i?_����.}���E�� �{����~�k�wSA��^�z�� �x2P�(���=�Nj=!zo�gbz# �~�8]��)� |��&���h��˻~�'i^Dt^�/������C�/��K��RAx��Vb�����w3o��ߪ�� ���{Q�w;�+Dˊ��KtSAx��Q��^�.F��-`E�Q����ż�0�ih3�����nAA�^�W��Oi��+�_ɵJ�y��=���w����,��W�* � ��u� O~��h�z�%�ǤL�y�
�Ƕ/���_�W������ �p^�4����Āɇ����,�S�y��S����xPoj_��K�BA8ϯc�X�����g~���� ��x�&��B�<�w�8K��
rM�~�h&�
���1AD�#/8�x�lw�]ූ��[�A.�k[�Vbg�n`�؛�wK����B���/���#��xq������HVHA���q9�g� ;�C�� �Yڿ��
":�p/F
|�KĔ�I�7�?^ڿo]VHA��ug�<_�
�ۉ�
���� ":�0��+�w��=�ti����� �p� ϯ%6�^�
�_^�"<��_��,�d�''�ߟJ�� �p�^����7�� ���m�g#�S��)<���1Ĩ��e���A.fZ��7�#�.b�ї��Dt~~�uĹ���ĩC���� �p�㉣����� <���
":��Ap*�
�W�/&����QA��8��g�cľ����g��Cd+q��s �6�"8A�G�𬀿'���O!v�_�i�G)��?��q�O��rbj�NA�Q|}�Gd�qV���8"��G'�|h�Z��C@J��%�� £��8"f��(�olE蜬��Nၽ�ˁ� ~��|��NAA�� ���ƿl5�?���Ex>
���g�8���� ��� ��\3p q$�WGB�8��Y�G�|p/�+�^d����{o�gV��s���j˞t:�t7�
�,���h@��52��
(�8�L;.`��q���EEĸ��(в��{g��wy��ܿ?Γ��t���r>�^�NU�}�����&y��[��L&��ܓnm<ҭ�o����,:3�\p�^<8Aj��#��|�2�L&�9��[���()x�B��ўEg�쌀�
<
� �"��g2�L&'M-�Q���I�2w棓Egfˇ� ��8��3�L&��O�s��d�䀯��|�p?�,:3ܕV4ɏs+�n�5R�T�d2�L�����U�g���9�S��,:��L�sW'8�#C��,83�L&��4Q�4����{�����Yt^ꌀ��L2��U�5�q(��d2�ό.h�/$���?H��d�y���q~�,�ġא}�2�L&�9�3�j;���gt�W2Yt^R�S�k������9���|t2�L&�9'���[��~���_���Yt^j,���$�q�"�|X2�L&�9�|�YR����ܛK��ˇ��W���ˁWw��L&��d2��8�_H�����R����R��ws���/w)�L&��d2�^x?&y`�� ��i�,:7:s��� �w;���Ò�d2��y�� �`7�|`G�YtnH�6�ג:�"���v��L&��d2�n��7Rc��|�[>t8�,:7"